工业用纯水设备在使用设备前检查设备，检查设备是否看到水渗漏。管道连接是否正确，保留端口是否符合设计要求等等。其次，接线控制柜的接线是否正确，电流和电压是否符合要求，电气接触接触不良。在启动水泵之前，先检查水泵管道是否有泄漏或吸水问题，或是否有堵塞。下一步是设备的操作，在开始运行时，有必要检查一体化工业纯水设备的各个部分是否协调良好，是否存在安全隐患。保持设备良好的工作状态，以便充分利用各部件的功能。必须严格按照操作程序进行操作，以达到所需的标准水质。
工业用纯水设备使用反渗透时，若装置产水量下降10%，若盐透过量增加一倍，或压差降增加一倍时，则说明反渗透需要清洗(但要注意，温度下降寸也会导致产水量下降，这是正常的现象，除了周期性的清洗外，在每次启动时，较好先低压运行几分钟，以除去反渗透器中的浓水，并将其排掉，不要进入下一级单元。
较简单的物理清洗方法是采用低压高流速成的陶氏膜透过水冲洗，这可使膜的透水性能得到一定程度的恢复，但时间长了，透水率仍然下降，也可用水和空气混合流体在低压下冲洗膜表面，用这种方法清洗初期受有机物污染的膜是有效的。
工业用纯水设备水垢的清理：
根据说明书给设备定期做维护保养，更换耗材。每日进行点检，检查性能指标的变化，做到早发现，早解决。纯水设备可通过设备自带的RO膜清洗装置，到化学品试剂店购买分析纯柠檬酸和设备制取的纯水相结合利用高压泵对设备RO部分进行清洗，清洗后利用纯水进行反复冲洗，直至出水干净为止。
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